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      CVD涂層技術

      發布時間: 2023-05-22 作者: 分享到:
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      大連創碩表面處理來為大家詳細介紹一下CVD技術的發展


      二十世紀六十年代以來,CVD技術被廣泛應用于硬質合金可轉位刀具的表面處理。由于CVD工藝氣相沉積所需金屬源的制備相對容易,可實現TiN、TiC、TiCN、TiBN、TiB2、Al2O3等單層及多元多層復合涂層的沉積,涂層與基體結合強度較高,薄膜厚度可達7~9μm,因此到八十年代中后期,美國已有85%的硬質合金工具采用了表面涂層處理,其中CVD涂層占到99%;到九十年代中期,CVD涂層硬質合金刀片在涂層硬質合金刀具中仍占80%以上。


      盡管CVD涂層具有很好的耐磨性,但CVD工藝亦有其先天缺陷:一是工藝處理溫度高,易造成刀具材料抗彎強度下降;二是薄膜內部呈拉應力狀態,易導致刀具使用時產生微裂紋;三是CVD工藝排放的廢氣、廢液會造成較大環境污染,與目前大力提倡的綠色制造觀念相抵觸,因此自九十年代中期以來,高溫CVD技術的發展和應用受到一定制約。


      八十年代末,Krupp.Widia開發的低溫化學氣相沉積(PCVD)技術達到了實用水平,其工藝處理溫度已降至450~650℃,有效抑制了η相的產生,可用于螺紋刀具、銑刀、模具的TiN、TiCN、TiC等涂層,但迄今為止,PCVD工藝在刀具涂層領域的應用并不廣泛。九十年代中期,中溫化學氣相沉積(MT-CVD)新技術的出現使CVD技術發生了革命性變革。MT-CVD技術是以含C/N的有機物乙腈(CH3CN)作為主要反應氣體、與TiCL4、H2、N2在700~900℃下產生分解、化學反應生成TiCN的新工藝。采用MT-CVD技術可獲得致密纖維狀結晶形態的涂層,涂層厚度可達8~10μm。這種涂層結構具有極高的耐磨性、抗熱震性及韌性,并可通過高溫化學氣相沉積(HT-CVD)工藝在刀片表面沉積Al2O3、TiN等抗高溫氧化性能好、與被加工材料親和力小、自潤滑性能好的材料。MT-CVD涂層刀片適于在高速、高溫、大負荷、干式切削條件下使用,其壽命可比普通涂層刀片提高一倍左右。目前,CVD(包括MT-CVD)技術主要用于硬質合金車削類刀具的表面涂層,涂層刀具適用于中型、重型切削的高速粗加工及半精加工。采用CVD技術還可實現α-Al2O3涂層,這是PVD技術目前難以實現的,因此在干式切削加工中,CVD涂層技術仍占有極為重要的地位。


                                                                                    涂層—大連創碩納米表面處理


      【全文完】

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